Molekulārā staru epitaksijas sistēma
Apraksts
Molekulārā staru epitaksija (MSE) ir viena no vairākām metodēm, kā nogulsnēt kristālus. To uzskata par būtiskāko tehnoloģiju, jo ir iespējama vienota struktūra un precīza izmēru kontrole. MSE sistēmas garantē ultra tīru vidi precīzai plāno plēvju struktūru izgatavošanai pusvadītājiem, opto-elektronikai, fotoelektriskajai un magnētu nozarei. Ierīces ir aprīkotas ar aparatūras un programmatūras iespējām, lai vadītu, attēlotu un kontrolētu kritiskās augšanas parametrus. Sistēmas parasti ir izstrādātas ar modulāro konfigurāciju, kas sastāv no vairākām funkcionējošām vienībām.
Veidi
LāzersNitrīdiemOksīdiemSilikons